מדוע להשתמש באבקת סיליקון עם טוהר גבוה לייצור חומרים מוליכים למחצה

Jul 03, 2021

השאר הודעה

מדוע להשתמש באבקת סיליקון עם טוהר גבוה לייצור חומרים מוליכים למחצה


חומרים מוליכים למחצה מוקדמים יוצרו מגרמניום מכיוון שטכנולוגיית הטיהור לסיליקון לא הייתה בשלה. המעגלים המשולבים הראשונים נבנו על גרמניום. ישנן מספר סיבות אפשריות לשימוש באבקת סיליקון טהורה לייצור חומרים מוליכים למחצה. קרום כדור הארץ' מכיל כמות גבוהה של סיליקון. בהתבסס על השימוש הנוכחי שלנו בסיליקון מוליכים למחצה, אם עדיין נשתמש בגרמניום, יתכן שלא יישאר הרבה גרמניום בכדור הארץ (אין לי' אין לי ספירה מדויקת).


הממשק בין סיליקון לסיליקה. המאפיינים הממשלתיים של אבקות סיליקון בטוהר גבוה הם טובים. בהשוואה לממשק של שכבת התחמוצת המקבילה של חומרים מוליכים למחצה אחרים, הממשק של סיליקון וסיליקה מושלם. עם התפתחות הטכנולוגיה, השליטה בפגמי הממשק הולכת ומשתפרת. לדוגמה, לאחר שינוי חדר נקי, ההשפעה של ליקויים הייתה נמוכה. יחד עם זאת, כאשר מזריקים טומאה, סיליקה יכולה לשמש כשכבת מגן ולחסום ביעילות זרחן, בורון וזיהומים אחרים. שנית, אבקת סיליקון בטוהר גבוהה היא חומר מבודד יציב מאוד (פער האנרגיה שלה הוא כ- 9 eV, אני לא יודע' אני לא יודע אם אני זוכר נכון), וגרמניום דו חמצני לא רק לא יציב בטמפרטורות גבוהות, אלא גם מסיס במים, בעוד שלסיליקון דו חמצני אין בעיה כזו כלל; פער האנרגיה הגדול של סיליקה יהפוך את הריאולוגיה לדליפה לקטנה (כמובן שאם שכבת התחמוצת דקה מדי, זרם הדליפה יגדל).


בהשוואה לגרמניום, לאבקת סיליקון בטוהר גבוה יש פער גדול יותר, כך שהיא יכולה לעמוד בטמפרטורת הפעלה גבוהה יותר ובטווח רחב יותר של סימום זיהומים. לסיליקון גם מתח פירוק גבוה יותר. התקני מוליכים למחצה קודמים עשויים גרמניום, טכנולוגיה בוגרת, תגובת מיתוג מהירה יותר. אבל זה עולה הרבה כסף. בעלי ההון בחרו בסיליקון, ומדענים רבים החלו לבצע פריצות דרך בסיליקון. כמובן, זה קשור לתכונות טובות רבות של סיליקון עצמו, כמו עתודות גדולות וביצועים יציבים. יתרון נוסף הוא שסיליקה היא מבודד טבעי וניתן להשתמש בה ישירות כשכבת ביניים לאחר טיפול בחום.


אבקת הסיליקון עם טוהר גבוהה עם 99% (2N), 99.9% (3N), 99.99% (4N) תכולת סיליקון, חמצן, פחמן, זרחן, גופרית ותכולת טומאה מתכתית נמוכות מאוד, שיכולות לענות על הצרכים של התהליך התעשייתי עם דרישות טומאה גבוהות, ומלאו את הפער בתחום אבקת הסיליקון התעשייתית בטוהר גבוה בסין. סגסוגות אלומיניום אווירונאוטיות/מכוניות, סגסוגות טיטניום, סגסוגות נחושת, סיליקון ניטריד בעל ביצועים גבוהים ופחמן ...


בעולם הייצור של חומרי אבקת סיליקון בטוהר גבוה ובטוהר גבוה עדיין נשלט על ידי ארצות הברית, גרמניה, יפן ודרום קוריאה. בעידוד מדיניות הממשלה והיקף סיוע כספי רב, תוך הסתמכות על תחנות כוח שנבנו בעצמם, מחירי חשמל מועדפים, סובסידיות פיסקליות ומס, ותמיכת מדיניות אחרת, הקדשנו תשומת לב שווה לשינוי טכנולוגי ולהרחבת הקיבולת.

9~(E$}YEFHW8Z~_FC4}~$3N

שלח החקירה